我国净化工程行业，目前正值推广阶段。近些年来，各大城市主要陆续新建、改建，增设或改造了原有的净化系统，这是我国经济发展、科技进步和医疗卫生水平提高的反映。新建、改建净化工程，改善生产环境，提高工作效率，是一件很慎重的工作。而不论什么行业对产品的质量，环境的洁净都是越来越严格的，洁净室净化工程也将深入各行各业，这是发展趋势。目前净化工程行业涉及如下：
隐蔽工程- - 给排水工艺
洁净厂房内的生产工艺对环境有较高的要求,需要对其生产车间的空气悬浮粒子浓度进行控制,同时,还需保证一定的温度、湿度和压力,为此,除了合理的工艺布局,恰当的室内装修，配套的安装工程设计亦至关重要,给排水工程设计就是其中一个重要的环节,现笔者结合多年药厂给排水设计及施工现场服务经验,谈谈净化工程内的给排水设计。
1、 系统的布置
为保证生产水质不被其它给水系统污染,洁净厂房内的给水系统按照生产、生活、消防等用途不同,应分别设置,其中,生产用水又可按生产线的数量,分别布置,建议每条生产线给水系统的起端均设置检修阀门及计量水表,以便检修和成本核算。 另外,考虑到洁净厂房中的生产工艺技术发展迅速,产品升级换代快,生产工艺变化多等特点,在管道设计中应留有充分的余量。
2、 管材的选用
洁净厂房的生产给水管传统的管材,一般采用镀锌钢管,考虑到洁净环境下,所选管材应有较好的化学稳定性,以保证水质在输送过程中下降最小;以及管道的内外壁应尽量光洁,管道及管件的接头处应有较好的平整度,以保证水流有较好的水力性能,以及降低微粒的沉积和微生物的繁殖,建议洁净厂房给水管材采用聚丙烯(PP)管或不锈钢管。
排水管材的选择,应针对排水的水质特点选用,一般原则是:在连续排水温度低于 40℃时,选用聚氯乙烯(UPVC)排水管,该管材具有化学稳定性强,水力性能好的优点;在连续排水温度介于 40～80℃时,建议采用既具有较高耐温性能,又有较好水力性能及化学稳定性的璃纤增强聚丙烯排水管;连续排水温度高于 80℃时,采用排水铸铁管,但应注意防腐处理。
3、 管道的敷设
洁净厂房内管道的敷设方式直接影响洁净室的空气洁净度,因此管道应尽量在洁净室外
敷设,最大限度地减少洁净室内的管道,通常是各种给排水干管布置在技术夹层、技术竖井、地沟管槽内或直接地下埋设,特别是有上下夹层的洁净厂房,给排水干管大都设在下夹层内。对于穿过洁净室无法暗装的给排水立管及消防栓,应尽量在净化区墙角处敷设,并应采用彩钢板包嵌,阴阳角均做成圆弧角,以免积灰。为防止洁净室外未净化空气渗入室内,同时也为了防止洁净室内的洁净空气向外渗漏,造成能量的浪费,甚至影响室内的洁净度,给排水管道穿过洁净室墙壁、楼板和顶棚时,应设套管,套管内管段不得有接头,管道和套管之间必须用不起尘的密封材料封闭。 在实在无法做套管的部位,必须采取严格的密封措施,主要的密封方法有微孔海绵、有机硅橡胶、橡胶圈及环氧树脂冷胶等。
4、卫生设备的设置
手是交叉污染的媒介,工作人员在接触工作服之前应洗手,洗手的龙头不应直接用手开启,可采用感应式或肘式洗手龙头。 洗净的手不可用普通毛巾擦抹,因为普通毛巾易产生纤维尘,最好的办法是热风吹干,所以洗手室不但要设置洗手盆,而且还需设置烘手器。洁净区内设置厕所不仅容易使洁净室受到污染,还会影响洁净区的压力控制,所以有空气洁净度要求的生产区内不宜设厕所。 厕所宜设在盥洗室之前,且厕所应有前室,前室还应设置供人员入厕穿用的套鞋。 厕所内卫生洁具为便于冲洗,还应采用白陶瓷制品,不得用水磨石或水泥制作。
5、排水设备附件及小型排水构筑物
对于跨度较大的洁净厂房,其生产排水横管往往较长,超过了规范允许的最大长度,为了清通方便,往往在排水横管上,每隔一定距离设一清扫口,清扫口尽量设在非净化区,如不能避免要在净化区设置,清扫口要选用易清洁的全铜制品。 洁净室尽量不设地漏,若工艺需要设置,亦尽量少设,且应选用材质不易腐蚀,内表面光洁,不易结垢,有密封盖,开启方便,能防止废水废气倒灌的洁净地漏。另外,为了顺利收集排水,保持地面清洁,地漏的顶面标高应低于周围地面 5～10mm。
为了防止通风系统正常工作时,室内洁净空气通过排水管向外渗漏;而当通风系统停止工作时,室外非洁净空气向室内倒灌,影响洁净室的洁净度、温湿度,并消耗洁净室的能量,与排水管相连的各个排水点均应设水封装置,水封深度不得小于 50mm 。 这是维持洁净室内各项技术指标的一个重要措施。为了进一步防止这一现象的发生,同时也为防虫防鼠,洁净区排水出户管末端在接到室外检查井之前,往往还增设水封井。
6、 循环水系统
为了�；に试匆约敖档蜕杀�,用于生产设备的冷却水,其使用前后,除了出水水温有了较大的提高,水质变化不大,经冷却塔降温处理后,可重复使用。 需要指出的是,由于循环冷却水在循环过程中会产生蒸发、 风吹等水量损失,造成了水的浓缩,含盐量增加,直至沉积;以及水中微生物繁殖和尘埃悬浮物、 腐蚀剥落物及其它杂质,形成沉积物,为提高设备热交换率及延长设备寿命,循环冷却水需进行水质处理。
二、安装管理程序
1 无尘车间洁净室施工管理制度
1．1 背景
1．1．1 半导体制造业必须在洁净的环境中进行，在施工中必须遵循行业规则和程序。本文件列出了这些规则和程序的概要。 为了保证项目的成功， 现场的每一位人员都必须遵守。
1．1．2 图纸上对于施工的洁净建设草案将被强制执行。这包括除了原料和成品仓库以外的所有主厂房内的地方。
1．1．3 洁净室施工管理制度目前主要针对一期主厂房内的局部改造和扩建，后期所有洁净室施工项目仍按照本制度规定的原则进行管理。
1．2 责任与义务
1．2．1 所有承包商有责任确保他们的工人都了解这些规则和程序，并且在他们疏于遵从或违反时给予培训和训练。 被分配到洁净建设区域的每位工人有责任和义务理解并遵守洁净建设规则和程序。
1．2．2 承包商负责执行洁净室草案。他将每天对洁净建设区域进行检查，并填写检查清单。承包商负责提供洁净室所需物品，例如：鞋套，毛巾，垫子和工装。他也负责提供每日执行洁净规则和程序的人员和设备。
1．2．3 承包商建造区域入口并对其进行管理。他提供清洗晾晒每个入口处鞋、外套和衣服的清洗店。 他将对在洁净区域工作的人员进行培训， 并维护被允许在此区域工作的人员身份认定和管理。
1．2．4 开始阶段，承包商应在每个入口处安排人员（除非半导体公司在该入口处安排有人员）以确保本规则和程序的执行。
1．2．5 重复违反规则和程序的人员将被开除。没有贯彻执行本规则和程序的供应商将被除名。
三、设备安装
净化设备
1、风淋室
风淋室是现代工业洁净厂房中必不可少的洁净配套设备， 它能去除人和物表面的尘埃， 同时又对风淋室两侧的洁净区和非洁净区起到了缓冲与隔离的作用。该设备广泛应用于食品、 医药、生物工程及精密电子等领域。风淋室分为“普通型和联锁型”两类：普通型采用手动启动吹淋的控制方式，个别操作者会选择“不经过吹淋就离开”的逃避方式。这使得洁净区的空气洁净度难以保证。甚至可能会影响到产品质量。洁净室内，在动态情况下，细菌及尘埃的最大发生源是操作者， 当操作者进入洁净室之前， 必须用洁净空气吹淋其衣服表面附着的尘�？帕�
2、高效送风口
本产品为万级，十万级乱流洁净室新建，改建工程净化空调系统终端送风装置�？晒惴河τ糜氲缱庸ひ�，精密机械，冶金，化工等工业及医疗，制药，食品等部门的净化空调系统。 本装置主要由静压箱，高效过滤器，铝合金扩散板，标准法兰接口等组成，造型美观，结构简单，使用可靠。 本送风口为下装式，具有在洁净室内安装和更换过滤器方便的优点，高效过滤器采用机械压紧或液槽密封装置，确保风口安装无泄露，密封可靠，净化效果好
3、传递窗
传递窗主要适用于洁净区与非洁净区之间， 或洁净室与洁净室之间的小货物传递， 可有效的减少洁净室门的开启次数，把洁净区的污染减少的最低程度。根据使用要求，传递窗箱体表面可喷塑，内胆可用不锈钢，外表美。
4、洁净工作台
无尘车间内的洁净工作台可根据产品要求或其他用途的要求， 在操作台上保持高洁净度的局部净化。洁净工作台可以在操作台的局部空间形成无菌、无尘的局部净化，其主要组成部件有预过滤器、高效过滤器、风机机组、外壳、静压箱、台面和配套的电器元器件等。无尘车间的洁净工作台的构造要求：台面，采用木质塑料贴面贴于层压板上做成台面，或采用不锈钢做台面； 箱体， 用热扎薄钢板与骨架气焊易变形， 可采用冷轧薄板折边搭接， 大电流电焊，内表面需粘贴消声材料，最大尺寸应以通过一般房门为宜；箱体密封，所有缝隙均采用密封胶密封；操作区截面应尽可能与空气过滤器送风截面相同，尽量减少盲区；风机、电机， 选用高压低噪的小型风机，风机与箱体的连接采用软连接，电机及风机均应采取减振措施； 灯罩，日光灯要尽量设置在灯罩内，灯罩内要通过洁净气流；预过滤器，须设置预过滤器， 容量要大，在使用风量下，初阻力宜小于 50Pa；高效过滤器，尽量采用大面积的过滤器，减少空气过滤器的数量，过滤器与框架之间的密封应采用封导结合的双环密封系统。
5、FFU 风机过滤单元
FFU 为英文缩写，全称为 Fan Filter Units, 中文意思为“风机滤器单元（机组）”，也称空气过滤单元。 风机从 FFU 顶部将空气吸入并经初、 高效过滤器过滤， 它为不同尺寸大小，不同洁净度等级的洁净室、 微环境提供高质量的洁净空气。 各净化工程企业的 FFU 执行标准略有不同，业内通行的指标为：过滤后的洁净空气在整个出风面以 0.45M/S±20%的风速匀速送出，但稳定性差距很大。经过实地检测，国际品牌普遍难以适应“中国环境因素”， 质量虽然普遍高于国产公司， 但 1 年后的稳定性测试普遍不理想； 而大部分国内低端品牌的工程质量也较差强人意。 净化工程行业开始注重产品质量与稳定性的双向验收标准， 并逐步以实地检测数据（之前多依靠行业报告）更真实的体现工程性价比.
6、层流罩
层流罩一种可提供局部高清洁环境的空气净化设备。它主要有箱体，风机，初效空气过滤器，高效空气过滤器。阻尼层，灯具等组成，箱体喷塑或采用不锈钢材料。该产品即可以悬挂，又可地面支撑，结构紧凑，使用方便�？梢缘ジ鍪褂�，也可多个联接组成带状洁净区域。
四、安装地面工程
地面工程
1》PVC 地板
施工工艺：
1、清理地面，清除浮沉，定位铺设基准线
2、铺拉接地倒网(铜箔)，涂刷导电胶
3、 铺贴 PVC 地板，滚压 PVC 地板
4、开 4mm 静电接地.适用场所: 电子厂，半导体厂，光电产业，包装品，机电房、汽车工业等 02 防静电 PVC 地板 。
2》 高架地板
施工工艺:
1、在清洁的地面上划线
2、支架横梁装配
3、调整横梁水平、紧固螺钉
4、 铺设活动地板
5、 施工完毕后清扫地板表面
适用场所: 电子厂，半导体厂，光电产业，机电房.恒温恒室实验室，百级无尘车间洁净厂房等
3》 环氧树脂自流平型地流
施工工艺:
1、打磨地面.清扫、吸尘
2、涂刷封闭底涂
3、刮腻子(中涂)
4、打磨、吸尘
5、自流平面
适用场所: 电子厂，电器厂，食品厂，化妆品厂，包装厂，纺织厂，服装厂等
4》 环氧树脂防静电自流平型
施工工艺：
1. 基材处理：打磨并清洁地面，要求基材干燥、无空鼓；
2.底涂涂装：导电底涂涂装；
3. 铺设铜箔：横竖交叉铺设；
4、中涂涂装：根据所落地面厚度镊防静电中涂；
5、面涂涂装：镬图环氛防静电自流平面漆。
适用场所: 适用于通讯设备制造厂、芯片制造厂、S MT 车间、光学仪器厂、实验室等有较高防静电要求的洁净厂房。
备注：以上解决方案仅供参考，具体方案需要根据客户要求和实际情况来配置
